插板閥是隔絕兩個相鄰空間的重要部件,在真空行業(yè)中,插板閥被廣泛應用于各種真空設備上,用來隔絕兩個不同的真空度的區(qū)域或者隔絕真空環(huán)境與其他氣體環(huán)境。
隨著半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,真空插板閥也越來越多的應用于半導體真空制程中。傳統(tǒng)真空插板閥運動機構、導向機構位于插板閥殼體內(nèi)部;在驅(qū)動閥板運動過程中,運動機構、導向機構中的零件與零件之間碰撞、摩擦等會產(chǎn)生金屬顆粒,引入到半導體制程中,進而污染晶圓。為了克服現(xiàn)這些問題,相關廠家研發(fā)了新型的真空插板閥。
真空插板閥主要包括殼體和閥板,閥板在兩個驅(qū)動裝置的驅(qū)動下運動,原理是驅(qū)動件1帶動閥板整體上下運動,接近、遠離法蘭口位置,驅(qū)動件2帶動閥板前后運動,貼近、遠離殼體的密封面,實現(xiàn)閥板的“l(fā)”形運動,從而減少了殼體內(nèi)的運動機構,減少金屬顆粒的產(chǎn)生,防止向半導體制程中引入金屬顆粒,污染晶圓。
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